原子层淀积技术应用于太阳电池的研究进展

谢章熠; 谢立恒; 耿阳; 孙清清; 周鹏; 卢红亮; 张卫

半导体光电, 2012, 33 (3): 307, 网络出版: 2012-06-25

原子层淀积技术应用于太阳电池的研究进展

Progresses on Applications of Atomic Layer Deposition in Solar Cells

谢章熠 ^*谢立恒耿阳孙清清周鹏卢红亮张卫

作者单位

复旦大学微电子学系ASIC与系统国家重点实验室，上海200433

补充材料

谢章熠, 谢立恒, 耿阳, 孙清清, 周鹏, 卢红亮, 张卫. 原子层淀积技术应用于太阳电池的研究进展[J]. 半导体光电, 2012, 33(3): 307. XIE Zhangyi, XIE Liheng, GENG Yang, SUN Qingqing, ZHOU Peng, LU Hongliang, ZHANG Wei. Progresses on Applications of Atomic Layer Deposition in Solar Cells[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2012, 33(3): 307.