光学元件亚表面缺陷的全内反射显微检测

邓燕; 许乔; 柴立群; 徐建程; 石琦凯; 罗晋

强激光与粒子束, 2009, 21 (6): 835, 网络出版: 2009-11-24

光学元件亚表面缺陷的全内反射显微检测

Total internal reflection microscopy:a subsurface defects identification technique in optically transparent components

邓燕 ^*许乔柴立群徐建程石琦凯罗晋

作者单位

成都精密光学工程研究中心,成都 610041

补充材料

邓燕, 许乔, 柴立群, 徐建程, 石琦凯, 罗晋. 光学元件亚表面缺陷的全内反射显微检测[J]. 强激光与粒子束, 2009, 21(6): 835. Deng Yan, Xu Qiao, Chai Liqun, Xu Jiancheng, Shi Qikai, Luo Jin. Total internal reflection microscopy:a subsurface defects identification technique in optically transparent components[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2009, 21(6): 835.