激光化学气相沉积法在TFT-LCD电路缺陷维修中的应用

张伟; 陈小英; 马永生; 付婉霞; 王磊; 周贺; 徐智俊; 王博; 阮毅松

doi:doi:10.3788/yjyxs20193408.0755

液晶与显示, 2019, 34 (8): 755, 网络出版: 2019-10-12

激光化学气相沉积法在TFT-LCD电路缺陷维修中的应用

Application of laser chemical vapor deposition in repairing TFT-LCD circuit defects

张伟 ¹陈小英 ¹马永生 ²付婉霞 ¹王磊 ¹周贺 ¹徐智俊 ¹王博 ¹阮毅松 ¹

作者单位

¹ 福州京东方光电科技有限公司, 福建福州 350300

² 北京京东方传感技术有限公司, 北京 100176

图 & 表

张伟, 陈小英, 马永生, 付婉霞, 王磊, 周贺, 徐智俊, 王博, 阮毅松. 激光化学气相沉积法在TFT-LCD电路缺陷维修中的应用[J]. 液晶与显示, 2019, 34(8): 755. ZHANG Wei, CHEN Xiao-ying, MA Yong-sheng, FU Wan-xia, WANG Lei, ZHOU He, XU Zhi-jun, Wang Bo, RUAN Yi-song. Application of laser chemical vapor deposition in repairing TFT-LCD circuit defects[J]. Chinese Journal of Liquid Crystals and Displays, 2019, 34(8): 755.