过渡层对Ge衬底GaAs外延层晶体质量的影响

李晓婷; 赛小锋; 汪韬; 曹希斌; 石刚

激光与光电子学进展, 2007, 44 (6): 58, 网络出版: 2007-06-08

过渡层对Ge衬底GaAs外延层晶体质量的影响

Effect of Buffer Layer on GaAs Epitaxial Layer Quality on Ge Substrate

李晓婷 ^1,2,*赛小锋 ²汪韬 ²曹希斌 ²石刚 ¹

作者单位

¹ 长安大学理学院,西安 710061

² 中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710068

图 & 表

李晓婷, 赛小锋, 汪韬, 曹希斌, 石刚. 过渡层对Ge衬底GaAs外延层晶体质量的影响[J]. 激光与光电子学进展, 2007, 44(6): 58. 李晓婷, 赛小锋, 汪韬, 曹希斌, 石刚. Effect of Buffer Layer on GaAs Epitaxial Layer Quality on Ge Substrate[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2007, 44(6): 58.