光学 精密工程, 2019, 27 (1): 129, 网络出版: 2019-04-06
无基膜高深宽比双面集成微结构元件的制作
Fabrication of two-sided integrated microstructure element with high aspect ratio and without film substrate
双面集成 无基膜 高深宽比 紫外压印 two-sided integrated without film substrate high aspect ratio ultraviolet imprint
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