Interface characterization of Mo/Si multilayers Download： 986次 | Chinese Optics Letters -- 中国光学期刊网

Chinese Optics Letters, 2016, 14 (8): 083401, Published Online: Aug. 3, 2018

Interface characterization of Mo/Si multilayers Download： 986次

Jiaoling Zhao ^1,2Hongbo He ^1,*Hu Wang ^1,2Kui Yi ¹Bin Wang ^1,2Yun Cui ¹

Author Affiliations

¹ Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China

² University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China

340.7480 X-rays, soft x-rays, extreme ultraviolet (EUV) 230.4170 Multilayers

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