OLD诊断SiH4的LPCVD动力学过程
傅广生, 李晓苇, 韩理, 张连水, 董丽芳, 吕福润, 薛春银. OLD诊断SiH4的LPCVD动力学过程[J]. 中国激光, 1987, 14(11): 671.
Fu Guangsheng, Li Xiaowei, Han Li, Zhang Lianshui, Dong Lifang, Lu Furun, Xue Chunyin. Diagnosis of kinetic process in silane LPCVD by means of OLD[J]. Chinese Journal of Lasers, 1987, 14(11): 671.
[1] Η. Y. Boening; J. Low-Temperature Plasma Chemistry, 1985, 101.
[2] 傅广生等；中国光学学会1985年年会论文集，P. 159.
[3] 泽尔道维奇 菜依捷尔著；《激波和高温气体动力学现象物理学》，上册，张树林译，科学出版社，1980年.
[4] “硅烷法制取高纯桂”,国外资料汇编，科学出版社， 1972.
傅广生, 李晓苇, 韩理, 张连水, 董丽芳, 吕福润, 薛春银. OLD诊断SiH4的LPCVD动力学过程[J]. 中国激光, 1987, 14(11): 671. Fu Guangsheng, Li Xiaowei, Han Li, Zhang Lianshui, Dong Lifang, Lu Furun, Xue Chunyin. Diagnosis of kinetic process in silane LPCVD by means of OLD[J]. Chinese Journal of Lasers, 1987, 14(11): 671.
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