OLD诊断SiH<sub>4</sub>的LPCVD动力学过程

傅广生; 李晓苇; 韩理; 张连水; 董丽芳; 吕福润; 薛春银

中国激光, 1987, 14 (11): 671, 网络出版: 2012-08-10

OLD诊断SiH₄的LPCVD动力学过程

Diagnosis of kinetic process in silane LPCVD by means of OLD

傅广生李晓苇韩理张连水董丽芳吕福润薛春银

作者单位

河北大学物理系

图 & 表

傅广生, 李晓苇, 韩理, 张连水, 董丽芳, 吕福润, 薛春银. OLD诊断SiH₄的LPCVD动力学过程[J]. 中国激光, 1987, 14(11): 671. Fu Guangsheng, Li Xiaowei, Han Li, Zhang Lianshui, Dong Lifang, Lu Furun, Xue Chunyin. Diagnosis of kinetic process in silane LPCVD by means of OLD[J]. Chinese Journal of Lasers, 1987, 14(11): 671.