半导体光电, 2013, 34 (4): 607, 网络出版: 2013-08-28
离子辅助沉积电子束蒸发Si基SiO2薄膜的研究
Study on Performance of Si-based SiO2 Optical Films with IBAD Electron Beam Evaporation
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | O484 |
| 栏目: | 材料、结构及工艺 |
| 项目基金: | 集成光电子学国家重点联合实验室开放课题(2011KFB002). |
| 收稿日期: | 2013-01-08 |
| 修改稿日期: | -- |
| 网络出版日期: | 2013-08-28 |
| 通讯作者: | 陈京湘 (chenjingxiang206@163.com) |
| 备注: | -- |
陈京湘, 崔碧峰, 丁颖, 计伟, 王晓玲, 张松, 凌小涵, 李佳莼, 马钰慧, 苏道军. 离子辅助沉积电子束蒸发Si基SiO2薄膜的研究[J]. 半导体光电, 2013, 34(4): 607. CHEN Jingxiang, CUI Bifeng, DING Ying, JI Wei, WANG Xiaoling, ZHANG Song, LING Xiaohan, LI Jiachun, MA Yuhui, SU Daojun. Study on Performance of Si-based SiO2 Optical Films with IBAD Electron Beam Evaporation[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2013, 34(4): 607.
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