光学学报, 2005, 25 (2): 246, 网络出版: 2006-05-22
利用傅里叶模方法分析厚层光刻胶内衍射光场
Analysis of Diffractive Image Field in Thick Film Photo-Resist by Using Fourier Modal Method
补充材料
唐雄贵, 郭永康, 杜惊雷, 刘世杰, 高峰, 高福华. 利用傅里叶模方法分析厚层光刻胶内衍射光场[J]. 光学学报, 2005, 25(2): 246. 唐雄贵, 郭永康, 杜惊雷, 刘世杰, 高峰, 高福华. Analysis of Diffractive Image Field in Thick Film Photo-Resist by Using Fourier Modal Method[J]. Acta Optica Sinica, 2005, 25(2): 246.