光学学报, 2019, 39 (9): 0905001, 网络出版: 2019-09-09   

基于超精密激光直写系统制作二维光栅 下载: 1990次封面文章

Two-Dimensional Grating Fabrication Based on Ultra-Precision Laser Direct Writing System
作者单位
1 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学与光电技术实验室, 上海 201800
2 中国科学院大学材料与光电研究中心, 北京 100049
3 暨南大学光子技术研究院, 广东 广州 511443
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李民康, 向显嵩, 周常河, 韦春龙, 贾伟, 项长铖, 鲁云开, 朱世曜. 基于超精密激光直写系统制作二维光栅[J]. 光学学报, 2019, 39(9): 0905001. Minkang Li, Xiansong Xiang, Changhe Zhou, Chunlong Wei, Wei Jia, Changcheng Xiang, Yunkai Lu, Shiyao Zhu. Two-Dimensional Grating Fabrication Based on Ultra-Precision Laser Direct Writing System[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(9): 0905001.

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