光学学报, 2019, 39 (1): 0122001, 网络出版: 2019-05-10
16 nm极紫外光刻物镜热变形对成像性能影响的研究 下载: 1350次
Effect of Thermal Deformation on Imaging Performance for 16 nm Extreme Ultraviolet Lithography Objective
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李艳秋, 刘岩, 刘丽辉. 16 nm极紫外光刻物镜热变形对成像性能影响的研究[J]. 光学学报, 2019, 39(1): 0122001. Yanqiu Li, Yan Liu, Lihui Liu. Effect of Thermal Deformation on Imaging Performance for 16 nm Extreme Ultraviolet Lithography Objective[J]. Acta Optica Sinica, 2019, 39(1): 0122001.