光子学报, 2005, 34 (10): 1542, 网络出版: 2006-06-12
利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动
Measuring Nanoscale Motions of Microdevices Using a Mirau Interferometer
基本信息
DOI: | -- |
中图分类号: | TH741.4 |
栏目: | 光学仪器仪表 |
项目基金: | 国家863计划资助项目(2004AA404042) |
收稿日期: | 2004-08-23 |
修改稿日期: | -- |
网络出版日期: | 2006-06-12 |
通讯作者: | |
备注: | -- |
郭彤, 胡春光, 胡晓东, 栗大超, 金翠云, 傅星, 胡小唐. 利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动[J]. 光子学报, 2005, 34(10): 1542. 郭彤, 胡春光, 胡晓东, 栗大超, 金翠云, 傅星, 胡小唐. Measuring Nanoscale Motions of Microdevices Using a Mirau Interferometer[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2005, 34(10): 1542.