光子学报, 2005, 34 (10): 1542, 网络出版: 2006-06-12
利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动
Measuring Nanoscale Motions of Microdevices Using a Mirau Interferometer
微机电系统 Mirau显微干涉仪 面内运动 离面运动 频闪照明 Microelectromechanical systems (MEMS Mirau microscopic interferometer In-plane motion Out-of-plane motion Stroboscopic illumination
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