光子学报, 2005, 34 (10): 1542, 网络出版: 2006-06-12
利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动
Measuring Nanoscale Motions of Microdevices Using a Mirau Interferometer
补充材料
郭彤, 胡春光, 胡晓东, 栗大超, 金翠云, 傅星, 胡小唐. 利用Mirau显微干涉仪测量微器件的纳米级运动[J]. 光子学报, 2005, 34(10): 1542. 郭彤, 胡春光, 胡晓东, 栗大超, 金翠云, 傅星, 胡小唐. Measuring Nanoscale Motions of Microdevices Using a Mirau Interferometer[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2005, 34(10): 1542.