Fabrication of silica-on-silicon planar lightwave circuits by PECVD and ECR | Chinese Optics Letters -- 中国光学期刊网

Chinese Optics Letters, 2005, 3 (5): 05275, Published Online: Jun. 6, 2006

Fabrication of silica-on-silicon planar lightwave circuits by PECVD and ECR

Libing Zhou ^*Fengguang Luo Mingcui Cao

Author Affiliations

State Key Laboratory of Laser Technology, Huazhong University of Science and Technology, Wuhan 430074

130.3130 integrated optics materials 230.7380 waveguides channeled 160.6030 silica

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