Optical properties and microstructure of Ta2O5 thin films prepared by oblique angle deposition | Chinese Optics Letters -- 中国光学期刊网

Chinese Optics Letters, 2009, 7 (10): 967, Published Online: Oct. 16, 2009

Optical properties and microstructure of Ta₂O₅ thin films prepared by oblique angle deposition

Xiudi Xiao ^1,2Guoping Dong ^1,2Hongbo He ¹Hongji Qi ^1,3Zhengxiu Fan ¹Jianda Shao ¹

Author Affiliations

¹ Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China

² Graduate University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China

³ Shanghai Daheng Optics and Fine Mechanics Co., Ltd., Shanghai 201800, China

倾角沉积 Ta₂O₅薄膜双折射 310.0310 Thin films 240.0240 Optics at surfaces

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