光学 精密工程, 2016, 24 (11): 2746, 网络出版: 2016-12-26
MEMS硅半球陀螺球面电极成形工艺
Development of spherical capacitive electrodes of MEMS silicon hemispherical gyros
基本信息
DOI: | 10.3788/ope.20162411.2746 |
中图分类号: | TP212.9;U666.1 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 北方通用电子集团预研资金资助项目(No.BSJ1274) |
收稿日期: | 2016-05-07 |
修改稿日期: | 2016-06-15 |
网络出版日期: | 2016-12-26 |
通讯作者: | 庄须叶 (zxye8888@hotmail.com) |
备注: | -- |
庄须叶, 喻磊, 王新龙, 李平华, 吕东锋, 郭群英. MEMS硅半球陀螺球面电极成形工艺[J]. 光学 精密工程, 2016, 24(11): 2746. ZHUANG Xu-ye, YU Lei, WANG Xin-long, LI Ping-hua, L Dong-feng, GUO Qun-ying. Development of spherical capacitive electrodes of MEMS silicon hemispherical gyros[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(11): 2746.