光学 精密工程, 2016, 24 (11): 2746, 网络出版: 2016-12-26
MEMS硅半球陀螺球面电极成形工艺
Development of spherical capacitive electrodes of MEMS silicon hemispherical gyros
微机电系统 半球陀螺 球面电极 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀 Micro-electro-mechanical System(MEMS) hemispherical gyro spherical electrode Inductively Coupled Plasma(ICP) etching
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