MEMS硅半球陀螺球面电极成形工艺

庄须叶; 喻磊; 王新龙; 李平华; 吕东锋; 郭群英

doi:doi:10.3788/ope.20162411.2746

光学精密工程, 2016, 24 (11): 2746, 网络出版: 2016-12-26

MEMS硅半球陀螺球面电极成形工艺

Development of spherical capacitive electrodes of MEMS silicon hemispherical gyros

庄须叶 ^*喻磊王新龙李平华吕东锋郭群英

作者单位

华东光电集成器件研究所, 安徽蚌埠 233042

图 & 表

庄须叶, 喻磊, 王新龙, 李平华, 吕东锋, 郭群英. MEMS硅半球陀螺球面电极成形工艺[J]. 光学精密工程, 2016, 24(11): 2746. ZHUANG Xu-ye, YU Lei, WANG Xin-long, LI Ping-hua, L Dong-feng, GUO Qun-ying. Development of spherical capacitive electrodes of MEMS silicon hemispherical gyros[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(11): 2746.