光学学报, 2009, 29 (7): 1877, 网络出版: 2009-07-20
基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法 
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Thickness Measurement of Thin Film Based on White-Light Spectral Interferometry
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | O436.1 |
| 栏目: | 仪器，测量与计量 |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(60708013, 60778025)资助课题。 |
| 收稿日期: | 2008-10-07 |
| 修改稿日期: | 2008-11-12 |
| 网络出版日期: | 2009-07-20 |
| 通讯作者: | 薛晖 (adongszju@hotmail.com) |
| 备注: | -- |
薛晖, 沈伟东, 顾培夫, 罗震岳, 刘旭, 章岳光. 基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法[J]. 光学学报, 2009, 29(7): 1877. Xue Hui, Shen Weidong, Gu Peifu, Luo Zhenyue, Liu Xu, Zhang Yueguang. Thickness Measurement of Thin Film Based on White-Light Spectral Interferometry[J]. Acta Optica Sinica, 2009, 29(7): 1877.
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