光学学报, 2009, 29 (7): 1877, 网络出版: 2009-07-20
基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法 下载: 959次
Thickness Measurement of Thin Film Based on White-Light Spectral Interferometry
白光干涉 测量薄膜物理厚度 等效厚度 频域分析 white light interference thickness of optical thin film effective thickness frequency domain analysis
知识挖掘
相关论文
本文相似领域研究进展,
知识服务
本文主要研究领域论文发表情况:
64篇
27篇
1篇
1篇
本文研究领域论文发表情况(统计图):
薛晖, 沈伟东, 顾培夫, 罗震岳, 刘旭, 章岳光. 基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法[J]. 光学学报, 2009, 29(7): 1877. Xue Hui, Shen Weidong, Gu Peifu, Luo Zhenyue, Liu Xu, Zhang Yueguang. Thickness Measurement of Thin Film Based on White-Light Spectral Interferometry[J]. Acta Optica Sinica, 2009, 29(7): 1877.