光学学报, 2009, 29 (7): 1877, 网络出版: 2009-07-20
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Thickness Measurement of Thin Film Based on White-Light Spectral Interferometry
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薛晖, 沈伟东, 顾培夫, 罗震岳, 刘旭, 章岳光. 基于白光干涉的光学薄膜物理厚度测量方法[J]. 光学学报, 2009, 29(7): 1877. Xue Hui, Shen Weidong, Gu Peifu, Luo Zhenyue, Liu Xu, Zhang Yueguang. Thickness Measurement of Thin Film Based on White-Light Spectral Interferometry[J]. Acta Optica Sinica, 2009, 29(7): 1877.