光学 精密工程, 2010, 18 (12): 2530, 网络出版: 2011-01-26
溅射法制备多层膜沉积速率的标定
Calibration of deposition rates of multilayer coatings by sputtering depositions
多层膜 溅射法 沉积速率 随机误差 控制精度 multilayer coating sputtering deposition deposition rate radom error control accuracy
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