发光学报, 2016, 37 (5): 556, 网络出版: 2016-05-11  

射频等离子硫钝化GaAs(100)的表面特性

RF Sulfur-plasma Passivation of GaAs(100) Surface
作者单位
长春理工大学 高功率半导体激光国家重点实验室, 吉林 长春 130022
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