叠栅条纹相位分布对对准精度的影响分析

朱江平; 胡松; 于军胜

doi:doi:10.3788/aos201232.0912002

光学学报, 2012, 32 (9): 0912002, 网络出版: 2012-07-04

叠栅条纹相位分布对对准精度的影响分析

Analysis of Phase-Distribution Effect of Moiré Fringes on Alignment Precision

朱江平 ^1,2,3,*胡松 ¹于军胜 ²

作者单位

¹ 中国科学院光电技术研究所, 四川成都 610209

² 电子科技大学光电信息学院, 四川成都 610054

³ 中国科学院研究生院, 北京 100049

补充材料

朱江平, 胡松, 于军胜. 叠栅条纹相位分布对对准精度的影响分析[J]. 光学学报, 2012, 32(9): 0912002. Zhu Jiangping, Hu Song, Yu Junsheng. Analysis of Phase-Distribution Effect of Moiré Fringes on Alignment Precision[J]. Acta Optica Sinica, 2012, 32(9): 0912002.