光学学报, 2012, 32 (9): 0912002, 网络出版: 2012-07-04
叠栅条纹相位分布对对准精度的影响分析
Analysis of Phase-Distribution Effect of Moiré Fringes on Alignment Precision
测量 光刻对准 角位移 叠栅条纹 相位分析 measurement lithographic alignment angular displacement fringes analysis phase analysis
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