光子学报, 2019, 48 (4): 0416003, 网络出版: 2019-04-28
氮气流量对磁控溅射制备类金刚石薄膜性能的影响
Effect of Nitrogen Gas Flow Rate on Properties of Diamond Like Carbon Films Prepared by Magnetron Sputtering
基本信息
| DOI: | 10.3788/gzxb20194804.0416003 |
| 中图分类号: | O649.4 |
| 栏目: | |
| 项目基金: | 国家自然科学基金(No.61774084), 江苏省前瞻性联合研究项目(No.BY2016003-09),江苏省科技成果转化专项资金项目(No.BA2015121),中央高校基本科研业务费项目(No.3082017NP2017106),江苏高校优势学科建设工程项目 |
| 收稿日期: | 2018-11-20 |
| 修改稿日期: | 2019-02-15 |
| 网络出版日期: | 2019-04-28 |
| 通讯作者: | 王洪美 (iwhongmei@163.com) |
| 备注: | -- |
王洪美, 李玉芳, 沈鸿烈, 翟子豪, 陈洁仪, 杨家乐, 杨艳. 氮气流量对磁控溅射制备类金刚石薄膜性能的影响[J]. 光子学报, 2019, 48(4): 0416003. WANG Hong-mei, LI Yu-fang, SHEN Hong-lie, ZHAI Zi-hao, CHEN Jie-yi, YANG Jia-le, YANG Yan. Effect of Nitrogen Gas Flow Rate on Properties of Diamond Like Carbon Films Prepared by Magnetron Sputtering[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2019, 48(4): 0416003.
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