光子学报, 2019, 48 (4): 0416003, 网络出版: 2019-04-28
氮气流量对磁控溅射制备类金刚石薄膜性能的影响
Effect of Nitrogen Gas Flow Rate on Properties of Diamond Like Carbon Films Prepared by Magnetron Sputtering
DLC薄膜 氮气流量 磁控溅射 透过率 退火 Diamond like carbon thin film Nitrogen gas flow rate Magnetron sputtering Transmittance Annealing
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