光学 精密工程, 2016, 24 (3): 469, 网络出版: 2016-04-13
掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响
Effect of alignment errors of reticle on distortion in lithographic projection lens
补充材料
杨旺, 黄玮, 尚红波. 掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响[J]. 光学 精密工程, 2016, 24(3): 469. YANG Wang, HUANG Wei, SHANG Hong-bo. Effect of alignment errors of reticle on distortion in lithographic projection lens[J]. Optics and Precision Engineering, 2016, 24(3): 469.