激光与光电子学进展, 2006, 43 (8): 13, 网络出版: 2006-08-31
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Development of Immersion Lithography
光刻 浸没式光刻 投影物镜 浸没液体 偏振光照明 气泡 lithography immersion lithography projection lens immersion fluid polarized illumination bubbles
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