激光与光电子学进展, 2006, 43 (8): 13, 网络出版: 2006-08-31
浸没式光刻技术的研究进展 下载: 1831次
Development of Immersion Lithography
图 & 表
袁琼雁, 王向朝, 施伟杰, 李小平. 浸没式光刻技术的研究进展[J]. 激光与光电子学进展, 2006, 43(8): 13. 袁琼雁, 王向朝, 施伟杰, 李小平. Development of Immersion Lithography[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2006, 43(8): 13.