光学学报, 2015, 35 (10): 1011003, 网络出版: 2015-10-08
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究
Compensation Method of Thermal Aberration for On-Axis Two-Mirror High NA lithographic Lens
基本信息
DOI: | 10.3788/aos201535.1011003 |
中图分类号: | O436 |
栏目: | |
项目基金: | 国家重大专项子课题基金(2012ZX02701001-007) |
收稿日期: | 2015-04-20 |
修改稿日期: | 2015-06-06 |
网络出版日期: | 2015-10-08 |
通讯作者: | 徐象如 (xuxiangru@foxmail.com) |
备注: | -- |
徐象如, 黄玮, 贾树强, 徐明飞. 同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究[J]. 光学学报, 2015, 35(10): 1011003. Xu Xiangru, Huang Wei, Jia Shuqiang, Xu Mingfei. Compensation Method of Thermal Aberration for On-Axis Two-Mirror High NA lithographic Lens[J]. Acta Optica Sinica, 2015, 35(10): 1011003.