光学学报, 2015, 35 (10): 1011003, 网络出版: 2015-10-08
同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究
Compensation Method of Thermal Aberration for On-Axis Two-Mirror High NA lithographic Lens
成像系统 投影光刻物镜 热像差 元件位移 分区加热 imaging systems lithographic lens thermal aberration element position shift district heating
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