同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究

徐象如; 黄玮; 贾树强; 徐明飞

doi:doi:10.3788/aos201535.1011003

光学学报, 2015, 35 (10): 1011003, 网络出版: 2015-10-08

同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究

Compensation Method of Thermal Aberration for On-Axis Two-Mirror High NA lithographic Lens

徐象如 ^1,2,*黄玮 ¹贾树强 ¹徐明飞 ^1,2

作者单位

¹ 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 吉林长春 130033

² 中国科学院大学, 北京 100049

图 & 表

徐象如, 黄玮, 贾树强, 徐明飞. 同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究[J]. 光学学报, 2015, 35(10): 1011003. Xu Xiangru, Huang Wei, Jia Shuqiang, Xu Mingfei. Compensation Method of Thermal Aberration for On-Axis Two-Mirror High NA lithographic Lens[J]. Acta Optica Sinica, 2015, 35(10): 1011003.