强激光与粒子束, 2010, 22 (9): 2181, 网络出版: 2010-09-21   

低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术

Fabrication and detection technique of fused silica substrate with extremely low subsurface damage
马彬 1,2,3,*沈正祥 1,2,3张众 1,2,3贺鹏飞 1,2,3季一勤 1,2,3刘华松 1,2,3刘丹丹 1,2,3王占山 1,2,3
作者单位
1 同济大学 精密光学工程技术研究所, 上海 200092
2 同济大学 航空航天与力学学院, 上海 200092
3 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室, 天津 300192
基本信息
DOI: --
中图分类号: TN244
栏目: 粒子束技术
项目基金: 国家自然科学基金项目(10825521);上海市科委基金项目(07DZ22302);上海市博士后科研资助计划(10R21416000);江苏省现代光学技术省重点实验室开放课题(KJS0901)
收稿日期: 2009-12-29
修改稿日期: 2010-03-22
网络出版日期: 2010-09-21
通讯作者: 马彬 (tjmabin@gmail.com)
备注: --

马彬, 沈正祥, 张众, 贺鹏飞, 季一勤, 刘华松, 刘丹丹, 王占山. 低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术[J]. 强激光与粒子束, 2010, 22(9): 2181. Ma Bin, Shen Zhengxiang, Zhang Zhong, He Pengfei, Ji Yiqin, Liu Huasong, Liu Dandan, Wang Zhanshan. Fabrication and detection technique of fused silica substrate with extremely low subsurface damage[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2010, 22(9): 2181.

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