强激光与粒子束, 2010, 22 (9): 2181, 网络出版: 2010-09-21
低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术
Fabrication and detection technique of fused silica substrate with extremely low subsurface damage
亚表面损伤层 共焦显微成像 光散射 化学腐蚀 刻蚀速率 subsurface damage confocal scanning microscope light scattering chemical etching etching rate
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