光学膜厚的监控方法 | 激光与光电子学进展 -- 中国光学期刊网

激光与光电子学进展, 2018, 55 (10): 103102, 网络出版: 2018-10-14

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Monitoring Method of Optical Film Thickness

庄秋慧 ^1,*王三强 ²

作者单位

¹ 重庆理工大学机械工程学院, 重庆 400050

² 国网重庆市电力公司电力科学研究院, 重庆 401123

引用该论文

庄秋慧, 王三强. 光学膜厚的监控方法[J]. 激光与光电子学进展, 2018, 55(10): 103102.

Zhuang Qiuhui, Wang Sanqiang. Monitoring Method of Optical Film Thickness[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2018, 55(10): 103102.

引用列表

1、 5G通信LWDM窄带滤光膜的研制中国激光, 2023, 50 (19): 1903101

2、利用AlGaN薄膜透射谱提取材料参数的研究光学学报, 2021, 41 (3): 0313001

3、基于金属包覆波导结构的纳米间隙测量研究激光与光电子学进展, 2020, 57 (21): 212302

4、微光系统CMOS光学调色膜的研制激光与光电子学进展, 2020, 57 (9): 093101

庄秋慧, 王三强. 光学膜厚的监控方法[J]. 激光与光电子学进展, 2018, 55(10): 103102. Zhuang Qiuhui, Wang Sanqiang. Monitoring Method of Optical Film Thickness[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2018, 55(10): 103102.

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