激光与光电子学进展, 2018, 55 (10): 103102, 网络出版: 2018-10-14
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Monitoring Method of Optical Film Thickness
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庄秋慧, 王三强. 光学膜厚的监控方法[J]. 激光与光电子学进展, 2018, 55(10): 103102. Zhuang Qiuhui, Wang Sanqiang. Monitoring Method of Optical Film Thickness[J]. Laser & Optoelectronics Progress, 2018, 55(10): 103102.