激光与光电子学进展, 2018, 55 (10): 103102, 网络出版: 2018-10-14
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Monitoring Method of Optical Film Thickness
薄膜 膜厚监控 判读精度 光学薄膜 光电极值法 精度 thin films film thickness monitoring interpretation accuracy optical thin film photoelectric extreme value method accuracy
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