作者单位
摘要
1 重庆理工大学机械工程学院, 重庆 400050
2 国网重庆市电力公司电力科学研究院, 重庆 401123
提出了一种提高光电极值法中膜层厚度监控精度的新方法。通过提高判读点的精度, 避免了光学极值法中停镀时存在的随机误差; 通过算法的处理, 将监控信号和光学厚度间的非线性关系转变成了线性关系, 并推算出最佳起判时间, 避免了监控薄膜沉积时非线性误差对极值点判别的影响。
薄膜 膜厚监控 判读精度 光学薄膜 光电极值法 精度 
激光与光电子学进展
2018, 55(10): 103102

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!