为了提高激光损伤阈值，采用离子束辅助电子束成膜的方法制备具有355，532，1064 nm三个波长的高反膜。首先使用Lambda950型分光光度计对薄膜样品的光谱性能进行测试，然后验证不同的基底材料及不同的基底清洗工艺对薄膜激光损伤阈值的影响，最后在不同的工作真空度下对薄膜的弱吸收能力和激光损伤阈值等进行较为系统的研究，分析薄膜的弱吸收能力与激光损伤阈值之间的联系。结果表明，三个波长下的反射率均满足全固态355 nm紫外激光器所要求的光学性能指标，当工作真空度增加到一定程度时，薄膜的激光损伤阈值与弱吸收值不再是对应的关系，而是存在一个最佳值，说明该高反膜可以用于全固态355 nm激光器中的反射镜。

提出了一种提高光电极值法中膜层厚度监控精度的新方法。通过提高判读点的精度, 避免了光学极值法中停镀时存在的随机误差; 通过算法的处理, 将监控信号和光学厚度间的非线性关系转变成了线性关系, 并推算出最佳起判时间, 避免了监控薄膜沉积时非线性误差对极值点判别的影响。

介绍了宽波段成像光谱仪系统中一种工作波段为0.35～1.7 μm的消偏振分色片的设计与研制。根据成像光谱仪的工作特点，利用分色片将近紫外、可见波段和近红外波段光谱进行高效分离，分别进入各自焦面，并被不同探测器接收。选择两种光学薄膜材料，利用四个反射堆实现了近紫外到可见光波段的高效反射；通过调整反射堆的次序，解决了近紫外波段材料吸收造成的偏振灵敏度高的难题；通过非规整膜层的匹配平滑了透射波段的光谱。分色片反射波段和透射波段的光学效率分别达到了97%和91%以上，反射波段的偏振灵敏度控制在1.5%以内。

采用离子束辅助电子束成膜, 用双重膜厚监控方法监控各膜层厚度, 制备了45°入射、808 nm高反、1064 nm高透的消偏振二向色镜, 并用于全固态355nm激光器.将部分薄膜样品在250℃进行退火处理后, 用Lambda950分光光度计测试该样品的光谱性能;用表面热透镜技术测量退火前后该样品的弱吸收值; 用激光阈值损伤装置测试该样品在1064 nm调Q激光下的损伤阈值; 用NIKON显微镜观察样品在不同激光能量辐照下的破斑形貌.实验结果表明:波长为808 nm和1 064 nm时, 薄膜透射率分别为0.04%和99.6%, 符合设计要求, 满足全固态355nm紫外激光器系统所要求的光学性能指标; 退火后的弱吸收值较退火前有所降低; 在激光作用下薄膜产生微破坏喷出, 说明膜层不会向灾难性破坏演变.