MEMS中基底和薄膜的CMP制造技术

曾毅波; 张杰; 许马会; 郝锐; 沈杰男; 周辉; 郭航

doi:doi:10.3788/ope.20182606.1450

光学精密工程, 2018, 26 (6): 1450, 网络出版: 2018-10-02

MEMS中基底和薄膜的CMP制造技术

Fabrication of substrate and film in MEMS using CMP

曾毅波 ^1,*张杰 ¹许马会 ^1,2郝锐 ¹沈杰男 ^1,3周辉 ^1,3郭航 ¹

作者单位

¹ 厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院, 福建厦门 361005

² 厦门大学航空航天学院, 福建厦门 361005

³ 厦门大学物理科学与技术学院, 福建厦门 361005

图 & 表

曾毅波, 张杰, 许马会, 郝锐, 沈杰男, 周辉, 郭航. MEMS中基底和薄膜的CMP制造技术[J]. 光学精密工程, 2018, 26(6): 1450. ZENG Yi-bo, ZHANG Jie, XU Ma-hui, HAO Rui, SHEN Jie-nan, ZHOU hui, GUO Hang. Fabrication of substrate and film in MEMS using CMP[J]. Optics and Precision Engineering, 2018, 26(6): 1450.