一种新型硅基3C-SiC的生长方法及光谱学表征

程顺昌; 杨治美; 钟玉杰; 何毅; 孙小松; 龚敏

光散射学报, 2009, 21 (3): 251, 网络出版: 2014-01-21

一种新型硅基3C-SiC的生长方法及光谱学表征

New Synthesis of 3C-SiC Film and Optical Characteristics Study on Silicon Substrate

程顺昌 ^1,*杨治美 ¹钟玉杰 ¹何毅 ²孙小松 ³龚敏 ¹

作者单位

¹ 四川大学物理科学与技术学院微电子实验室, 成都 610064

² 四川大学分析测试中心, 成都 610064

³ 四川大学材料科学与技术学院, 成都 610064

图 & 表

程顺昌, 杨治美, 钟玉杰, 何毅, 孙小松, 龚敏. 一种新型硅基3C-SiC的生长方法及光谱学表征[J]. 光散射学报, 2009, 21(3): 251. CHENG Shun-chang, YANG Zhi-mei, ZHONG Yu-jie, HE Yi, SUN Xiao-song, GONG Min. New Synthesis of 3C-SiC Film and Optical Characteristics Study on Silicon Substrate[J]. The Journal of Light Scattering, 2009, 21(3): 251.