光学 精密工程, 2019, 27 (7): 1516, 网络出版: 2019-09-02
面向大面积微结构批量化制造的复合压印光刻
Composite imprint lithography for mass producing large-area microstructures
基本信息
DOI: | 10.3788/ope.20192707.1516 |
中图分类号: | TN305.7 |
栏目: | 微纳技术与精密机械 |
项目基金: | 国家自然科学基金资助项目(51775288) |
收稿日期: | 2019-04-15 |
修改稿日期: | 2019-05-27 |
网络出版日期: | 2019-09-02 |
通讯作者: | 兰红波 (hblan99@126.com) |
备注: | -- |
兰红波, 刘明杨, 郭良乐, 许权. 面向大面积微结构批量化制造的复合压印光刻[J]. 光学 精密工程, 2019, 27(7): 1516. LAN Hong-bo, LIU Ming-yang, GUO Liang-le, XU Quan. Composite imprint lithography for mass producing large-area microstructures[J]. Optics and Precision Engineering, 2019, 27(7): 1516.