面向大面积微结构批量化制造的复合压印光刻

兰红波; 刘明杨; 郭良乐; 许权

doi:doi:10.3788/ope.20192707.1516

光学精密工程, 2019, 27 (7): 1516, 网络出版: 2019-09-02

面向大面积微结构批量化制造的复合压印光刻

Composite imprint lithography for mass producing large-area microstructures

兰红波 ^*刘明杨郭良乐许权

作者单位

青岛理工大学山东省增材制造工程技术研究中心, 山东青岛 266520

图 & 表

兰红波, 刘明杨, 郭良乐, 许权. 面向大面积微结构批量化制造的复合压印光刻[J]. 光学精密工程, 2019, 27(7): 1516. LAN Hong-bo, LIU Ming-yang, GUO Liang-le, XU Quan. Composite imprint lithography for mass producing large-area microstructures[J]. Optics and Precision Engineering, 2019, 27(7): 1516.