光学 精密工程, 2019, 27 (7): 1516, 网络出版: 2019-09-02
面向大面积微结构批量化制造的复合压印光刻
Composite imprint lithography for mass producing large-area microstructures
复合微纳米压印光刻 大面积纳米压印 复合软模具 非平整衬底 大面积微结构 composite imprint lithography large-area nanoimprint lithography composite flexible mold non-planar substrates large-area microstructures
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