光学技术, 2006, 32 (3): 0330, 网络出版: 2010-06-03
AFM制作纳米光栅技术研究
Technique of nano-grating fabricated by AFM
基本信息
| DOI: | -- |
| 中图分类号: | TH741．6 |
| 栏目: | 光学工艺 |
| 项目基金: | 高等学校博士学科点专项科研基金(项目20020003025)；教育部优秀青年教师资助计划、国家重点基础研究发展计划(项目2004CB619304)；国家自然科学基金(项目10232030，10121202，10472050) |
| 收稿日期: | 2005-03-13 |
| 修改稿日期: | 2005-07-04 |
| 网络出版日期: | 2010-06-03 |
| 通讯作者: | 谢惠民 (xiehm@mail.tsinghua.edu.cn) |
| 备注: | -- |
张鸣, 张伟, 华心, 谢惠民, 陈鹏万, 黄风雷. AFM制作纳米光栅技术研究[J]. 光学技术, 2006, 32(3): 0330. ZHANG Ming, ZHANG Wei, HUA Xin, XIE Hui-min, CHENG Peng-wan, HUANG Feng-lei. Technique of nano-grating fabricated by AFM[J]. Optical Technique, 2006, 32(3): 0330.
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