AFM制作纳米光栅技术研究
张鸣, 张伟, 华心, 谢惠民, 陈鹏万, 黄风雷. AFM制作纳米光栅技术研究[J]. 光学技术, 2006, 32(3): 0330.
ZHANG Ming, ZHANG Wei, HUA Xin, XIE Hui-min, CHENG Peng-wan, HUANG Feng-lei. Technique of nano-grating fabricated by AFM[J]. Optical Technique, 2006, 32(3): 0330.
[1] 鞠挥，吴一辉，王立鼎．硅光栅的制作与应用[J]．MEMS器件与技术，2002，(2)：29-33．
[2] 朱守星，丁建宁，等．基于AFM纳米加工机理和方法的研究进展[J]．江苏大学学报(自然科学版)，2002，(3)：8-13．
[3] 宫建茹，万立骏，白春礼．扫描探针纳米加工技术的现状和发展趋势[J]．大学化学，2003，(1)：7-11．
[4] 白春礼，田芳，罗克．扫描力显微术[M]．北京：科学出版社，2000．
[5] Xie H M,Kishimoto S,Asundi A,et al. In-plane deformation measurement using the atomic force microscope moiré method[J]. Nanotechnology,2000,11(1): 24-29.
张鸣, 张伟, 华心, 谢惠民, 陈鹏万, 黄风雷. AFM制作纳米光栅技术研究[J]. 光学技术, 2006, 32(3): 0330. ZHANG Ming, ZHANG Wei, HUA Xin, XIE Hui-min, CHENG Peng-wan, HUANG Feng-lei. Technique of nano-grating fabricated by AFM[J]. Optical Technique, 2006, 32(3): 0330.
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