光学技术, 2006, 32 (3): 0330, 网络出版: 2010-06-03
AFM制作纳米光栅技术研究
Technique of nano-grating fabricated by AFM
图 & 表
张鸣, 张伟, 华心, 谢惠民, 陈鹏万, 黄风雷. AFM制作纳米光栅技术研究[J]. 光学技术, 2006, 32(3): 0330. ZHANG Ming, ZHANG Wei, HUA Xin, XIE Hui-min, CHENG Peng-wan, HUANG Feng-lei. Technique of nano-grating fabricated by AFM[J]. Optical Technique, 2006, 32(3): 0330.